具體來說，超聲波清洗機通過換能器將電能轉(zhuǎn)化為機械振動，這種振動以聲波的形式在清洗液中傳播。當聲波的頻率和硅片晶圓的振動頻率共振時，機械作用力達到最大，泡內(nèi)聚集的大量熱能，使溫度升高，促進化學反應的發(fā)生。

此外，兆聲波清洗的機理是由高能頻振效應并結(jié)合清洗劑的化學反應對硅片進行清洗。在清洗時由換能器發(fā)出波長為兆赫級高能聲波，溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動，最大瞬時速度可達到30cm/s，由于頻率過高，不能形成超聲波清洗那樣的空化氣泡，而只能以強的聲壓梯度、聲流作用產(chǎn)生的高速流體力學層連續(xù)沖擊基片表面，使基片表面附著的微粒被強制除去并進入到媒液中。

超聲波清洗機可以清洗的硅片晶圓物品包括但不限于以下幾種：

1. 半導體晶圓：半導體晶圓是制造集成電路、晶體管等電子器件的基本材料。在制造過程中，晶圓表面會受到各種污染物的污染，如顆粒、有機物、金屬離子等。超聲波清洗機可以通過清洗去除這些污染物，保證晶圓的清潔度和質(zhì)量。
2. 光學元件：光學元件如鏡頭、濾光片等需要保持表面的光潔度，以實現(xiàn)良好的光學性能。超聲波清洗機可以通過清洗去除表面的污漬、油脂等污染物，提高元件的光學性能。
3. 金屬零件：金屬零件在制造過程中會受到各種污染物的污染，如油污、銹跡、金屬離子等。超聲波清洗機可以通過清洗去除這些污染物，保證金屬零件的清潔度和質(zhì)量。
4. 陶瓷制品：陶瓷制品如電子管、瓷片等表面容易受到污染，超聲波清洗機可以通過清洗去除表面的污漬、灰塵等污染物，提高制品的光潔度和絕緣性能。
5. 其他表面精密清洗：超聲波清洗機還可以用于其他表面精密清洗，如電子元器件、機械零件、醫(yī)療器材等。

需要注意的是，不同的物品需要使用不同的清洗液和清洗方式，以避免對物品造成損害。此外，在使用超聲波清洗機時，還需要注意控制清洗時間和溫度，以避免對物品造成過度清洗或損壞。

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