說到等離子清洗機，大家首先會想到技術(shù)比較成熟的等離子清洗機主要分為電容耦合等離子清洗機(CCP)和電感耦合等離子清洗機(ICP)，而微波等離子清洗機相對比較少見。但隨著近年來國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和新材料等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，微波等離子體表面處理技術(shù)也越來越受到重視。

微波等離子清洗機的概念和特點

微波等離子清洗的核心部件在于，可匹配調(diào)諧的波導(dǎo)管和等離子發(fā)生器，這兩個部件的設(shè)計和工藝與國外先進技術(shù)還存在不小的差距。國產(chǎn)實驗型微波等離子清洗機已經(jīng)有在使用，而用于大規(guī)模工業(yè)清洗的微波等離子清洗機還鮮有看到。

工業(yè)應(yīng)用的微波等離子清洗機一般都屬于表面波型，其工作模式是通過輻射微波電磁場直接將氣體擊穿實現(xiàn)放電，一般要求放電氣壓高，因為沒有離子的加速作用，其電子密度較高，對于有機物的去除和材料表面活化的效率是比較高的。

等離子清洗機與超聲波清洗機的主要區(qū)別

等離子清洗機和超聲波清洗機的主要區(qū)別等離子清洗是干式清洗，超聲波清洗是濕法清洗，在經(jīng)過等離子清洗以后，被清洗物體已經(jīng)很干燥，不必再經(jīng)干燥處理即可送往下道工序。

等離子清洗在完成清洗去污的同時，還能改變材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能，改善膜的附著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

雖然等離子清洗機表面上比超聲波清洗機更加智能化，但是還有很多缺點需要提示，比如放電氣壓高帶來的問題是等離子體局域化比較嚴(yán)重，縱深清洗比較差，不利于多層面的大尺度的清洗處理，而且微波電磁場對電子元器件多少會有一定電磁輻射作用，有可能會造成電子元器件的擊穿損傷，最后就是設(shè)備造價高，維修保養(yǎng)不是很方便。